Микро Нано Лаб

Лаборатория за научноизследователска и развойна дейност по микроелектроника и наноелектроника с основен фокус върху диагностика, анализ, проектиране и прототипиране на интегрални схеми и електронни устройства. Лабораторията предлага високотехнологични решения за инженерни предизвикателства и е специализирана в откриването и дефинирането на дефекти в електронни компоненти и системи в направления като автомобилна и индустриална електроника, MEMS и биомедицински приложения.

Предоставяни услуги

  • Рентгенова инспекция;
  • Акустична инспекция;
  • Плазмено и лазерно ецване на слоеве;
  • Металографски анализ;
  • Създаване на микро- и наноструктури;
  • Измерване напрежения на срез;
  • Електрическо охарактеризиране на полупроводникови устройства;
  • Безразрушителна инфрачервена диагностика;
  • Визуална инспекция;
  • Задълбочен анализ и откриване на дефекти;
  • Структурна характеристика на тънки слоеве;
  • Прототипиране на печатни платки;
  • Измерване на дебелина на слоеве.

Основни дейности

Ранно откриване и анализ на повреди в микро- и наноелементи, устройства, модули, системи и прототипи;
Прецизни измервания и характеристика на интегрални схеми, печатни платки и електронни устройства;
Провеждане на специализирани обучения по електроника, микро- и наноелектроника за служители, студенти и експерти.
Разработка и тестване на устройства на ниво схема и система, включително вградени (embedded) системи;
Проектиране и прототипиране на електронни схеми, микроструктури и компоненти;

Оборудване

  • Система за рентгенова инспекция;
  • Scanning Acoustic Microscope (SAM);
  • Анализатор на волт-амперни характеристики;
  • Емисионен микроскоп;
  • Безмаскова литографска машина;
  • Уред за тестове на срязващо напрежение;
  • Машина за йонно шлайфане и полиране;
  • Плазмен и лазерен декапсулатор;
  • Оптични микроскопи;
  • Спектрометър X-Ray Fluorescence (XRF);
  • Машини за прецизно позициониране и протоипиране на печатни платки.

Управление

Ръководител: доц. д-р инж. Димитър Николов
Зам. ръкодител: доц. д-р инж. Ростислав Русев

Научни области:

проектиране и симулация на полупроводникови елементи, интегрални схеми и електронни устройства;

отлагане на тънки слоеве, нано- биоелектроника;

работа с високотехнологични измервателни уреди като мрежови и спектрални анализатори, осцилоскопи и инструменти за прецизни изследвания.